第392章 378.有了林本间，我们的光刻机可以领先世界30年！（2.4合1）
隔日，张思明美滋滋地给赵德彬打越洋电话报喜：“彬子，你看，哥哥我对你那芯片的事多上心，专门去水木和燕大帮你招人，你感不感动？”
得知徐端颐外加整个团队即将加盟，赵德彬也很高兴：
“还真别说，我最近正愁到哪里去找那么多搞设备的技术人员。
我好不容易说服了林本间博士，他说必须要有人、有设备才能回来。
不然，他一个造光刻机的，回来了也发挥不了作用。
有了徐教授团队，我就有把握把林博士请回来了。”
“这位林博士究竟是何方神圣？昨天，我跟徐教授一提，看徐教授的样子，他对这位林博士可是久闻大名呀。”
“林博士可是个厉害的人物，有了他，咱们造出来的光刻机能在往后的三十年领先世界。”
“吓，这么厉害？你不是说光刻机是个特别复杂的东西吗，成千上万个零件，林博士总不能每个都懂吧？”
“林博士不用懂全部的零件，他就懂光刻技术，就能造出先进的光刻机。
光刻机这东西，说难也难，说简单吧，它也就是那么回事。
本质上，光刻机其实就是一台投影仪加照相机，在机器上，把设计好的电路图投射到硅片上，然后用光在硅片上把电路刻出来。
你就想，就是造一个精度高些的照相机，这能有多费劲？
我这两天正好就在买目前世界上最先进的光刻机，厂家是一个合兰的小厂，这家小厂是飞利甫的子公司，在84年成立的，当时整个公司算上扫地的也就31个人，老板还兼职保安和出纳，人家这都敢生产光刻机，你以为多难呢？
其实，也就是到了80年代末，光刻机才开始大量销售，之前很少人买这东西，像是因特尔、Icm、得州仪器这样的，人家要用光刻机，直接公司内部自己做了，根本就用不着买。
就这样的东西，他们还防贼一样防着中夏，不让中夏进口，真是敝帚自珍啊。”
张思明恍然大悟：“原来是这样，我说怎么现在世界光刻机巨头是霓康和嘉能呢。我一开还寻思着生产照相机的厂家跟芯片扯不上关系，原来是专业对口呀。”
“现在，世界上生产光刻机的厂家很多，霓康是里面最大的。
不过，霓康跟别人确实不一样。
别人都是靠采购回来一大堆零件后组装，霓康是所有零件都是自己生产。
虽说霓康的零件不一定都能做到世界第一，但现在的芯片要求也不是很高，霓康自己产的也就够用了。
再过十年可就不行了，现在芯片还是微米，等芯片制程到了纳米级，那时的光刻机就不是单个一家厂商能做出来的了，激光系统、工作台、物镜都要到世界其他顶尖公司采购。
到那个时候，世界上不会有任何一个国家能单独制造光刻机，就算丑国也不行。
每一台光刻机，都是全球工业链的整合。”
“我明白了，我终于知道为什么徐教授他们光靠自己单个团队就能做出来光刻机了，原来是因为现阶段的光刻机还不够复杂！”
“话也不能这么说，徐教授他们能从无到有做出光刻机来，已经很厉害了。
只能说，现阶段的光刻机，还是人力尚且可以企及的，靠埋头苦干就能能有所成就。
等到发展到一台光刻机好几十万个零件的时候，你就是让神仙过来，神仙都搞不定，必须世界范围内采购零件。
所以说，咱们的研究不能落下，一步差，步步差。
一旦落下了，再想追赶就难了。”
“原来是这样，怪不得你这么着急……不过，你还没告诉我林博士究竟哪里厉害呢？”
“哎呀，和你说技术你也不懂。”
“所以你就不要跟我说技术，就告诉我厉害在哪不就行了吗？咋，你现在不讲技术就不会说话了？”
赵德彬只好捡着张思明能听懂的，解释道：
“林博士从1970年就一直在Icm的华生实验室工作，目前已经21年了。
华生实验室是Icm最顶尖的实验室，出过很多着名科学家和诺贝奖获得者。
林博士除了在1975年做出了深紫外线（dUV）以外，还创造出了包括1微米、0.75微米、0.5微米在内的好几项光刻技术。
当然，最厉害的是他在1986年提出的关于浸润式微影技术的想法，目前世界上只有他的技术叫‘浸润式’，就是水泡着的那个‘浸润’，其他的技术全都是没有水的‘干式微影技术’。
我跟你说，浸润式才是以后的大势所趋，现在世界上才刚出第二代I线光刻机，暂时还看不出。
等发展到第三代dUV光刻机、还有第四代EUV光刻机的时候，全世界必须采用林博士的浸润式技术，除此以外，别的路都行不通。
所以我才说，有了林博士，我们能领先世界三十年。”
赵德彬的形容一点也不夸张，林本间是深紫外线dUV的发明人，而后世中夏想买也买不到的极紫外线EUV光刻机，也是基于林本间的‘浸润式光刻技术’研制出来的。
在赵德彬的世界当中，目前，光刻机光源波长在止步于193纳米上，再也没有办法下降，但摩尔定律要继续发展，193纳米这个瓶颈必须要打破。
这是因为，光刻机的光就像刻刀一样在硅片上雕刻电路，当你的芯片越来越小，你的刻刀也必须变小变薄，这就跟不能拿屠龙刀在米粒上雕花是一个道理。
不过，在1991年还不用太愁这个事，目前，实验室里的最先进的芯片制程是0.5微米，也就是500纳米，而193纳米光源波长的极限是在65纳米的制程以下，这中间少说还有十来年的时间可以想办法。
于是，整个90年代，搞光刻机的最顶尖那撮人，就为了这事犯愁，大家八仙过海、各显神通，捣鼓了好几年，总算是在90年代末期形成了两个路子：
霓康等巨头主张在193纳米的基础上，采用157纳米的F2激光；
而刚成立的EUV LLc联盟口气很大，一上来就要搞EUV技术，用仅有13.5纳米的极紫外光解决这个问题。
这两个方法都很难，但第二个方法基本上就是吹牛逼，对比之下，还是第一个方法靠谱，所以，大家都把希望寄托在157纳米的波长上面，很多公司都投入了重金搞研发，希望能早点做出157纳米的波长抢占市场。
虽然行业中已经达成了共识，但林本间却不这么想。
早在1986年，林本间在研究中发现，当前的微影技术已经进入了瓶颈，很难再向下发展，他提出了一个“浸润微影技术”，并在这个技术上研究了多年。
林本间认为，既然157纳米的波长难做，那干脆就不做，只需要维持着193纳米的波长，在镜头和光刻胶之间加一层水，经过水的折射，光线波长就可以从193纳米变成132纳米，一举突破157纳米的天堑。
这层水，也就是“浸润”这个名字的由来。
传统的技术，就是镜头直接面对晶圆，镜头和晶圆中间只是空气。
虽说林本间从1986年就开始研究浸润式微影技术，但在早期，还有很多方法可用，并不一定需要浸润式这把牛刀，所以浸润式一直是一个冷门的技术，基本上没有引起外界的关注；
浸润式真正引起轰动的是在2002年，当时，关于193纳米下不去这事已经火烧屁股了，林本间受邀到比立时参加“国际微影讨论会”，在会上再次提出浸入式技术，并发表了浸润式设备及操作的示意图。
这一下可捅马蜂窝了，本来，大家都在讨论157纳米干式微影技术上，没想到突然杀出来一个林本间，说加一层水就从能从193纳米变132纳米。
解决问题不是最重要的，最重要的是做量产机器的厂商愿意投入才行。
本来，巨头们已经在157纳米光刻机研发上投入了不下十亿丑元，甚至还有厂商已经建好了157纳米镜头材料的工厂了。
此时告诉他们，“干式微影没得搞，还是来搞浸润式吧”，这就相当于花出去的大笔经费都打水漂了。
一时间，浸润式技术遭到了铺天盖地的反对和质疑。
此时，林本间已经去到了湾积电工作，有一些巨头还朝着湾积电施压。
张中谋还是很有眼光的，他不仅没有压制林本间，还很支持他的方案。
于是，林本间带着自己的方案，在丑国、倭国、德意治等国来回奔波，花了一年多的时间，愣是没能说服一个厂商合作。
林本间上门其实是很讨人嫌的，可他就像看不到别人的白眼，被拒绝了也不放弃，针对巨头们的需求和顾虑，不断地优化浸润式方案，一次又一次上门推销，这让各大厂商不堪其扰。
一家公司甚至直接写信给林本间的上司蒋上义，要求他“管管林本间，让他收敛点，不要出来搅局，不要再来扰乱我们的研究进展和专注方向”。
大多数的厂商都对林本间的方案将信将疑，甚至还有厂商表示坚决不用这项技术。
只有合兰的AmSL认为林本间的浸润式要比157纳米的干式靠谱，愿意和林本间合作。
这其实也并不是AmSL的眼光多么超群，只是因为当时的AmSL在国际上还算不上大个，根本就没有实力随大流，研究不了先进的157纳米的光源，林本坚的方案对他们来说就是一个意外之喜，搏一搏，万一单车能变摩托呢？
再加上，湾积电也是AmSL的股东，双方一拍即合，共同研发浸润式光刻机。
这一搏，还真就是单车变摩托了。
只用了一年多，在2004年，在林本间和AmSL的合作下，世界上第一台134纳米波长的浸没式光刻机问世，45纳米制程的芯片是用浸润式技术量产的第一代芯片。
此后，从40纳米起，一路下到到7纳米、5纳米，都是用浸润式光刻机生产的。
AmSL就是靠着浸润光刻机，一路从小公司逆袭成业界巨无霸。
在2004年推出浸润光刻机之前，AmSL在世界市场占有率不足10%，只能跟在霓康和嘉能后面吃点残羹冷炙；
待到2007年，就是风水轮流转，AmSL的世界市场占有率突破60%。
在后世，只有AmSL一家能生产EUV光刻机，在全球光刻机市场中，ASmL市场占有率高达89%，昔日风光无限的霓康和嘉能市场份额则被挤压到了8%和3%。
如果当初没有林本间开辟浸润式这一新赛道，只是在干式微影技术上死磕，那肯定就没有AmSL的一飞冲天。
当然，这些都是后世发生的事情，赵德彬知道，但他无法告诉张思明。
不过，跟着赵德彬这么长时间，张思明知道在技术上能领先世界是非常不容易的，他对林本间究竟有多么厉害还是有点概念的。
于是，张思明问道：“林博士既然这么厉害，Icm应该不能放他走才对呀，为什么他愿意回国了呢？”
“主要还是跟Icm有理念分歧，Icm并不支持林博士的研究。
林博士在Icm是研究紫外线光刻技术，但行业里现在都认为紫外线没什么发展前景了，想要开始研究x射线。
目前，Icm研究的重点放在了x射线上，这个项目的主管还是林博士的顶头上司，要人有人，要钱有钱，你说林博士在公司里能不坐冷板凳吗？
那个x射线项目花了很多钱，林博士恳求公司领导，说只要给他一点点钱，哪怕只有x射线项目十分之一，他就能帮Icm做出十倍的成果，结果领导根本不理他。
不仅上面忽视，林博士在公司里也不好过。
有一次，林博士参加一个公司会议，当时，用紫外线做只能做 1.25微米的芯片，他在会议上说，要用紫外线做1微米，甚至0.7微米。
马上，就有一个很厉害的同事跳出来笑他的想法是‘一个很好的科幻小说’。”
张思明不忿道：“啊，Icm怎么这样，他们那个x光能做成吗？可是，你不是说那个最高级的EUV也是紫外线光吗？这里面好像没有x光什么事啊。”
“你放心，他们那个x光做不成。
往后三十年，光刻机都是紫外线光的天下，x光至少在30年内不会商用。
说到这个，我那天去见林博士，他给我讲了个笑话。
有一天，隔壁x光项目有了进展，他的上司很高兴，给部门里每个人都发了件t恤，衣服上面写着‘x光能用！（x ray works）’。
你说，林博士拿着这件t恤，这心里能好受吗？
于是，他在这句话后面加了三个单词，让这句话变成了‘x光在牙医诊所能用（x ray works– for the dentists）’。
然后，他把这件衣服用磁铁挂在他办公桌后面的文件柜上，让每个路过的同事都能看到。
林博士一直对自己很有信心，他坚信紫外线不会这么快就玩完。
事实也将会证明，他的紫外线光可以从1微米（1000纳米）做到5纳米。
哎呀，林博士这人就是太老实了，你就是没见过他，你见了他就知道了。
他说话轻声细语的，脾气很好很好，不争不抢的，我反正是想象不出他生气能是什么样
像他这样的人，都能在Icm公开和上司唱反调，可想而知是受了多大委屈。”
“这Icm真是识人不明，我看还是早点让林博士回来，还是咱们自己家好呀！”